X射線熒光光譜儀是一種較新型可以對多元素進(jìn)行快速同時測定的儀器。就分類而言，偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF、波長色散型(WD-XRF)X射線熒光光譜儀與能量色散型(ED-XRF)X射線熒光光譜儀同屬于X射線熒光光譜儀，它們產(chǎn)生信號的方法相同，最后得到的波譜或能譜也極為相似，但由于色散、采集數(shù)據(jù)的方式不同，三種儀器在原理、儀器結(jié)構(gòu)和功能上也有所不同。

　　X射線熒光光譜儀主要由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。其原理就是：X射線管通過產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），來激發(fā)被測樣品。 受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線（又叫X熒光），并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量或者波長。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。

　　X射線熒光光譜儀分析的四個優(yōu)勢：

　?。?）熒光分析的主要特點是靈敏度高、選擇性好，熒光分析的靈敏度要比吸收光譜測量高2-3個數(shù)量級。分光光度法通常在 10-7 級，而熒光的靈敏度達(dá)10-9。

　?。?）強(qiáng)選擇性強(qiáng)，熒光物質(zhì)具有兩種特征光譜：激發(fā)光譜和吸收光譜，相對于分光光度法單一的吸收光譜來說，熒光光譜可根據(jù)激發(fā)光譜和發(fā)射光譜來鑒定物質(zhì)。

　?。?）信息量豐富，能提供熒光物質(zhì)的多種參數(shù)。

　?。?）但是熒光分析方法也有其不足之處：①很多物質(zhì)本身不發(fā)熒光；②熒光的產(chǎn)生與化合物結(jié)構(gòu)的關(guān)系不明確；③干擾因素多，光分解、氧淬滅、易污染。